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功能齊全:外延材料-微納加工-器件設計/代工-檢測表征 特點突出:專業(yè)的化合物半導體加工特色,兼具其他硅基材料的加工 工藝節(jié)點:MBE0.1nm生長精度,EBL10nm光刻精度

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青島翼晨鐳碩微納加工平臺隸屬青島翼晨鐳碩科技有限公司,公司獲評國家高新技術(shù)企業(yè),擁有超過20項的國際、國內(nèi)專利,是山東省、青島市、上合示范區(qū)、膠州市的重點項目,已投資超過1.6億元。公司與膠州市政府、青島大學共建了光電產(chǎn)學研基地,為技術(shù)人員、學生提供專業(yè)半導體技術(shù)實訓。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺擁有專業(yè)的外延生長、電子束曝光、紫外光刻、RIE刻蝕、ICP刻蝕、PVD鍍膜、CVD鍍膜等核心微納加工設備以及相應的配套檢測設備,具備0.1nm垂直外延生長能力、10nm平面圖形加工能力。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺擁有兩千米的百級、千級超凈間環(huán)境,是一個從材料外延生長、芯片工藝開發(fā)、器件研發(fā)制備到性能檢測完整的全流程、多功能平臺。擁有來自國內(nèi)外知名企業(yè)及平臺經(jīng)驗豐富的專業(yè)微納加工工程師≥30人,可以為客戶提供從設計、材料、工藝、檢測全方位的定制化微納加工服務。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺本著開放共贏的合作理念,歡迎高校、科研院所、中小微創(chuàng)業(yè)企業(yè)等各類科技工作團體前來合作,開展外延代工、工藝代工、科研合作、協(xié)助研發(fā)、中試和小批量生產(chǎn)、設備共享、超凈共享、人員培訓等相關(guān)技術(shù)服務。

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